所屬系列：ZJYQ-GYXWSPM-HITACHI
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HITACHI日立全自動掃描探針顯微鏡AFM5500MⅡ規(guī)格：
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型號 |
AFM5500M |
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尺寸?重量 |
裝置外觀尺寸?重量※1 |
750 mm(W) x 877 mm(D) x 1400 mm(H)、約361 kg |
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AFM主機外觀尺寸?重量※1 |
340 mm(W) x 502.5 mm(D) x 546 mm(H)、約31.6 kg |
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檢測系統(tǒng) |
檢測方式 |
光杠桿法 |
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光源 |
SLD（發(fā)光二管激光器） |
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懸臂加振方式 |
壓電激振 |
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規(guī)格 |
基本規(guī)格 |
RMS噪音水平※2 |
≤0.04 nm |
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重現(xiàn)性※2 |
XY ≤ 15 nm（3σ、10 μm垂直間隙測量） |
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XY正交性※2 |
90°±0.5°（在掃描角度0°、45°、90°時） |
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平坦度（圓弧誤差）※2 |
≤2 nm/50 μm |
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大樣品尺寸 |
大 φ100 mm（4英寸）、厚度 20 mm、重量 2 kg |
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掃描器（掃描范圍） |
XY:大 200 μm/Ｚ:大 15 μm（XY:閉環(huán)控制/Z: 位移傳感器測量） |
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光學(xué)顯微鏡視野※3 |
放大倍率: 1X～7X |
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基本功能 |
AFM、DFM、PM（相位）、FFM |
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減震隔音機構(gòu) |
臺式主動減震臺、隔音罩 |
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自動精密馬達臺 |
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大觀察范圍 |
直徑 100 mm（4英寸） |
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馬達臺移動范圍 |
XY≥100 mm、Z≥21 mm |
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小步進※4 |
XY 2 μm、Ｚ 0.04 μm |
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AFM主機 |
RealTuneⅡ |
自動調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速度以及信號反饋 |
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操作界面 |
導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描可動范圍/測量記錄顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評價功能、樣品臺對中功能、程序功能、故障診斷功能 |
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實時測量（像素點） |
四通道測量（大2048x2048) |
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長方形掃描 |
2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、 |
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數(shù)據(jù)分析 |
三維顯示功能、線粗糙度分析、面粗糙度分析、截面圖（任意、平均） |
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自動控制功能 |
自動更換懸臂、光軸自動調(diào)節(jié) |
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選配功能 |
測量環(huán)境 |
大氣環(huán)境 |
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擴展測量模式（選配） |
SIS形貌、SIS物性、SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech（彈性模量測定功能） |
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其他功能（選配） |
高至100 V 偏壓放大器、 |
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共享坐標樣品臺功能 |
AFM標記 |
樣品厚度 |
4 mm以下 |
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SEM-AFM |
大樣品尺寸 |
φ20 mm、厚度 7 mm |
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對中精度 |
≤±10 μm（AFM對中精度） |
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支持型號 |
歡迎垂詢。 |
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CSI-AFM |
大樣品尺寸 |
φ80 mm、厚度 7 mm |
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對中精度 |
≤±10 μm（AFM對中精度） |
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支持型號 |
歡迎垂詢。 |
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電源 |
AC 100～240 V±10％、單相、50/60 Hz、15A、1系統(tǒng)、D種接地、帶接地 |
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※1儀器外觀尺寸和重量均為標準配置的數(shù)值。這些數(shù)值會有裝配公差，僅供參考。
※2規(guī)格值為出廠標準值。不力求所有安裝環(huán)境均可得到同一性能。
※3顯微鏡視野尺寸為設(shè)計值中大測量區(qū)域。因元件差異可能有所不同。
※4精密電動馬達臺的小步距為設(shè)計值。
