FT-NMT04納米力學(xué)性能測試系統(tǒng)

所屬系列：ZJYQ-LXSYYH-Femtotools

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產(chǎn)品描述

FT-NMT04納米力學(xué)性能測試系統(tǒng)是一款可在SEM/FIB中對微納米材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能進(jìn)行原位、直接而準(zhǔn)確測量的納米機(jī)器人系統(tǒng)。測試原理是通過微力傳感探針對微納結(jié)構(gòu)施加可控的力,同時采用位移記錄器來測量該結(jié)構(gòu)的形變。從測得的力和形變(應(yīng)力-應(yīng)變)曲線可以定量地分析微納米結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能。通過控制加載力的大小和方向,可實現(xiàn)拉伸、壓縮、斷裂、疲勞和蠕變等各種力學(xué)測試。同時,其配備的導(dǎo)電樣品測試平臺可以對微納米結(jié)構(gòu)的電學(xué)和力學(xué)性能進(jìn)行同步測試。
絕大多數(shù)的納米力學(xué)測試都需要復(fù)雜的樣品制備過程。為了使樣品制備簡單化和人性化,FT-NMT04采用能夠感知力的微鑷子和不同形狀的微力傳感探針針尖來實現(xiàn)對微納結(jié)構(gòu)的精確提取、轉(zhuǎn)移直至將其固定在測試平臺上?？偠灾?集合納米操作以及力學(xué)-電學(xué)性能同步測試功能于一體的FT-NMT04能夠滿足幾乎所有的納米力學(xué)測試需求。
FT-NMT04納米力學(xué)性能測試系統(tǒng)特點：
△能同時實現(xiàn)SEM/FIB高分辨成像和納米力學(xué)性能測試
△五軸(X,Y,Z,旋轉(zhuǎn),傾斜)閉環(huán)控制保證樣品和微力傳感探針的對準(zhǔn)
△能在SEM/FIB工作距離下實現(xiàn)高分辨成像以及FIB切割和沉積
△能夠通過力和位移兩種控制模式實現(xiàn)各種力學(xué)測試,例如拉伸、壓縮、彎曲、剪切、循環(huán)和斷裂測試等
△五軸(X,Y,Z,旋轉(zhuǎn),傾斜)位移記錄器實現(xiàn)樣品臺上多樣品的自動測試和掃描
△電性能測試模塊能夠?qū)崿F(xiàn)力學(xué)和電學(xué)性能同步測試(樣品座配備6個電極)
△導(dǎo)電的微力傳感探針可有效減少荷電效應(yīng)
△實現(xiàn)力學(xué)性能測試與其他SEM/FIB原位分析手段聯(lián)用,如EDX、EBSD、離子束沉積和切割
△兼容于SEM本身的樣品臺,安裝和卸載快捷方便
△模塊化設(shè)計使系統(tǒng)適用于各種形貌樣品的測試需求及各種SEM/FIB配置
△緊湊的外形設(shè)計適用于各種全尺寸的SEM/FIB樣品室
△用戶可設(shè)計自定義的測試程序和測試模式

FT-NMT04納米力學(xué)性能測試系統(tǒng)測試模式：
★微柱壓縮
SEM中的原位微壓縮實驗可以直接觀察測試過程中的塑性變形。
★微懸臂梁測試
使用光刻或FIB制備的微懸臂進(jìn)行原位彎曲測試，可以深入了解材料在復(fù)雜剪切應(yīng)力和斷裂條件下的性能，從而可以在受控位移下通過應(yīng)力應(yīng)變分析直接觀察裂紋路徑。
★微拉伸測試
拉伸測試是評估材料延展性和加工硬化行為的黃金標(biāo)準(zhǔn)。微拉伸測試將該技術(shù)擴(kuò)展到微觀結(jié)構(gòu)尺度，有助于測量各相、晶?；蚪缑娴男阅堋?/span>
★使用STEM/EBSD進(jìn)行同步機(jī)械測試
Femtotools SEM納米壓痕儀可進(jìn)行實時機(jī)械測試和顯微鏡檢查（STEM/EBSD/DIC）,捕獲晶體演化和力反應(yīng)。
★納米壓痕
納米壓痕通過將鋒利的尖端壓入材料表面并測量產(chǎn)生壓痕所需的力來評估材料的局部機(jī)械行為。
★高溫測試
溫度改變材料的機(jī)械性能。在接近目標(biāo)應(yīng)用的條件下，這對于評估操作機(jī)械性能至關(guān)重要。利用精密MEMS加熱實現(xiàn)快速溫度匹配和熱控制，即使在高溫下也能進(jìn)行穩(wěn)定的測量。
★劃痕測試
劃痕是評估材料附著力、硬度和耐磨性的重要方法——尤其是涂層。
★機(jī)械顯微鏡
機(jī)械顯微鏡是納米壓痕技術(shù)發(fā)展的下一步。它提供了一種強(qiáng)大的新方法，可以使用高速納米壓痕測繪同時表征材料的微觀結(jié)構(gòu)和各種機(jī)械性能之間的關(guān)系。
★關(guān)聯(lián)機(jī)械顯微鏡
關(guān)聯(lián)機(jī)械顯微鏡將納米壓痕與其他顯微鏡方法結(jié)合。各種數(shù)據(jù)層的集成通過在機(jī)械測量中包含元素或晶體分析來實現(xiàn)物相識別。
★應(yīng)變率控制

時間和溫度一樣，是材料變形的關(guān)鍵參數(shù)。速度決定主動變形機(jī)制。測試期間的應(yīng)變率控制可實現(xiàn)一致的結(jié)果，并允許探索材料從蠕變到?jīng)_擊的響應(yīng)，即便在單個壓痕內(nèi)也是如此。

FT-NMT04納米力學(xué)性能測試系統(tǒng)配件：
01高溫模塊
02劃痕測試模塊
03旋轉(zhuǎn)臺模塊
04納米拉伸測試芯片
05微力傳感探頭
06兩軸微力探頭
07高溫探頭

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