微納米力學(xué)綜合測試系統(tǒng)CB500

所屬系列：ZJYQ-LXSYQT-NANOVEA

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產(chǎn)品描述

微納米力學(xué)綜合測試系統(tǒng)CB500產(chǎn)品特性：
- 模塊化設(shè)計(jì)：可在一臺儀器集成納米壓痕儀、納米劃痕儀、微米壓痕儀、微米劃痕儀4款儀器。
- 壓痕測試完全符合ISO14577與美國ASTM E2546標(biāo)準(zhǔn)，劃痕測試符合ISO 20502、1518、ASTM、D7027、D1624、D7187、C171標(biāo)準(zhǔn)。
- 載荷加載系統(tǒng)：采用閉環(huán)載荷加載垂直加載，準(zhǔn)確性遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)的開環(huán)載荷加載技術(shù)及懸臂加載技術(shù)，可力求施加載荷的精準(zhǔn)性。
- 載荷驅(qū)動(dòng)方式：高精度壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于電磁力驅(qū)動(dòng)。
- 高精度電容式傳感器來能夠力求系統(tǒng)夠?qū)崿F(xiàn)高精度的測量可力求壓入深度與劃入深度實(shí)時(shí)測量。
- 采用encoder高精度光柵尺樣品臺，定位精度可達(dá)250nm以內(nèi)。
- 特的熱飄逸控制技術(shù)：納米壓痕儀的熱飄逸為<0.05nm/s，同時(shí)通過的硬度測試軟件，利用熱飄逸補(bǔ)償技術(shù)可將熱飄逸總量控制在1nm以內(nèi)；另外，儀器采用立式結(jié)構(gòu)，電子單元在左右兩邊，熱量往上漂不會(huì)對電子單元產(chǎn)生影響，從而得到非常小的熱漂移。
- 劃痕具有全景成像模式

- NANOVEA公司金剛石面積函數(shù)校準(zhǔn)技術(shù)，只需要壓一次就可以對針尖面積函數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測量！??！

微納米力學(xué)綜合測試系統(tǒng)CB500主要技術(shù)參數(shù)：
1）納米壓痕儀：
- 靜態(tài)加載模式大加載載荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN
- 動(dòng)態(tài)加載模式DMA:0.1-100Hz
- 載荷分辨率：3nN
- 可實(shí)現(xiàn)的小載荷：0.1mN
- 加載速率：0.04-12000mN/min
- 大壓入深度（電容傳感器）： 250μm/1mm
- 位移分辨率：0.0003nm
- 快速壓痕功能：做100個(gè)mapping點(diǎn)只需5分鐘
- 熱飄逸<0.05nm/s(室溫條件下)
2）納米劃痕儀：
- 劃痕正向力大載荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN
- 載荷分辨率：3nN
- 劃痕正向力小載荷：0.1mN
- 大劃痕深度：250μm/1mm
- 大劃痕長度：50mm
- 劃痕速度：0.05-600mm/min
- 位移分辨率：0.0003nm
- 大深度：250μm/1mm
- 深度分辨率：0.0003nm
- 大摩擦力：400mN/1800mN
- 摩擦力分辨率：7μN(yùn)
3）微米壓痕儀：
- 大加載載荷：40N/200N
- 載荷分辨率：2.4μN(yùn) /12μN(yùn)
- 載荷噪聲水平（RMS）：0.1mN/0.5mN
- 可實(shí)現(xiàn)的小載荷：2mN/10mN
- 加載速率：0.01-500N/min / 0.05-1000N/min
- 快速壓痕功能：做100個(gè)mapping點(diǎn)只需12分
- 深度范圍（電容式傳感器）：1mm
- 深度分辨率：0.01nm
- 深度分噪聲水平（RMS）: 0.5nm
4）微米劃痕儀：
- 劃痕正向力大載荷：40N/200 N
- 劃痕正向力小載荷：2mN/10mN
- 大劃痕深度：1mm
- 深度分辨率：0.01nm
- 深度分噪聲水平（RMS）: 0.5nm
- 大劃痕長度：50mm
- 劃痕速度：0.1-1200mm/min
- 大摩擦力：20N/200N
- 摩擦力分辨率：1.3mN/13mN
5）精密定位平臺：
- XY方向移動(dòng)范圍：100mm*50mm
- Z方向允許的大樣品空間：150mm
- 工作臺XY方向定位分辨率：10nm
- 工作臺XY方向定位精度：250nm
- Z方向可自動(dòng)移動(dòng)移動(dòng)范圍：50mm
6）光學(xué)金相顯微鏡成像系統(tǒng)：
- 物鏡的放大倍率分別為：5X，10X，20X，50X，1000X
- 總的放大倍率分別為：400X，800X，1600X，4000X，8000X，
7）原子力顯微鏡AFM的技術(shù)參數(shù)（高分辨率）：
- XYZ方向大掃描范圍：100μm *100μm *12μm
- XY方向移動(dòng)分辨率：0.1nm
- Z方向的測量分辨率：0.02nm

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