當(dāng)需要對(duì)晶圓樣品的電路圖案和顏色進(jìn)行顯微觀察時(shí)，傳統(tǒng)的方法是對(duì)前者進(jìn)行暗場(chǎng)照明、對(duì)后者進(jìn)行明場(chǎng)照明，并在這兩種技術(shù)之間反復(fù)切換。因?yàn)樵趧?chuàng)建報(bào)告時(shí)需要為每種技術(shù)采集圖像，所以這種觀察方法非常耗時(shí)。

             晶圓明場(chǎng)                                                                       晶圓暗場(chǎng)

用于執(zhí)行半導(dǎo)體/FPD檢測(cè)的MX63/MX63L工業(yè)顯微鏡提供了一種可有效替代傳統(tǒng)觀察方法的解決方案：MIX 照明功能。利用MIX照明功能，可同時(shí)觀察晶圓的電路圖案和顏色信息。MIX圖像的銳度和清晰度可幫助提高工作效率和改進(jìn)報(bào)告生成過(guò)程。

              晶圓MIX

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