半導(dǎo)體通過使用精密工藝進(jìn)行制造。引線鍵合是其中一項(xiàng)制程,使用焊接金線、鋁線或銅線將集成電路上的電JI連接至引線框架。引線直徑可能小至10微米,而且焊接精度需JQ至 2 到 3 微米。焊接引線所需的精度等級(jí)意味著:即使輕微的振動(dòng)也有可能造成接合不良,從而導(dǎo)致電子器件故障。
制造商會(huì)檢驗(yàn)半導(dǎo)體中的引線鍵合是否有缺陷,如引線斷開、引線間距偏移、接合分離或剝離以及移位。因?yàn)榘雽?dǎo)體以大批量方式制造,因此一般用高速、自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行檢驗(yàn),提供每個(gè)芯片的結(jié)果(“合格/不合格”)。會(huì)從生產(chǎn)線中挑出半導(dǎo)體不良品,由質(zhì)控部門使用光學(xué)顯微鏡或數(shù)碼顯微鏡進(jìn)行詳細(xì)檢查。
另一個(gè)挑戰(zhàn)源于線絲的形狀,難以聚焦整根線絲,即使在低放大倍率下亦是如此。即使您正使用數(shù)碼顯微鏡(在使用高放大倍率的鏡頭時(shí)可提供優(yōu)良景深),但是其分辨率通常仍然不足以分析接合線中非常微小的不良情況。
Z后一點(diǎn),如果在低放大倍率下發(fā)現(xiàn)了問題,使用光學(xué)顯微鏡的檢驗(yàn)員可能需切換到高放大倍率的顯微鏡或者更換鏡頭,以進(jìn)行更詳細(xì)的觀察,但是這種切換較為耗時(shí),需要重新定位相關(guān)區(qū)域。如果檢驗(yàn)員正使用數(shù)碼顯微鏡,則切換到更高放大倍率所需采取的步驟取決于系統(tǒng)。某些數(shù)碼顯微鏡僅有一個(gè)變焦物鏡。在此種情況下,需要從顯微鏡本體上拆下低放大倍率的鏡頭,并換上新鏡頭。
此外,憑借此款顯微鏡,從低放大倍率到高放大倍率的轉(zhuǎn)換變得輕而易舉。快換鏡頭可滑入顯微鏡本體或滑出,切換鏡頭快速、簡(jiǎn)單。由于鏡頭位置保持固定,因此您無需花時(shí)間重新定位相關(guān)區(qū)域。