奧林巴斯激光共焦顯微鏡采用了較佳光學(xué)系統(tǒng)，可通過(guò)非破壞觀察法生成高畫質(zhì)的圖像并進(jìn)行JQ的3D測(cè)量。其準(zhǔn)備操作也非常簡(jiǎn)單且無(wú)需對(duì)樣本進(jìn)行預(yù)先處理。
具有高精度和光學(xué)性能的LEXT?OLS5100激光掃描顯微鏡配備了讓系統(tǒng)更加易于使用的智能工具。其能夠快速完成亞微米級(jí)形貌和表面粗糙度的測(cè)量任務(wù)，既簡(jiǎn)化了工作流程又能讓您獲得可信賴的高質(zhì)量數(shù)據(jù)。
LEXT? OLS5100 3D激光掃描顯微鏡
用于材料分析的激光顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
適用于故障分析和材料工程研究的奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100將測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，讓顯微鏡更加方便使用。通過(guò)快速JQ測(cè)量亞微米級(jí)形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡(jiǎn)化您的工作流程。
LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。
較高測(cè)量準(zhǔn)確度*
奧林巴斯享譽(yù)世界的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個(gè)視場(chǎng)中捕捉樣品的真實(shí)形貌
智能物鏡選擇助手（Smart Lens
Advisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測(cè)量
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100型號(hào)：
★OLS5100-SAF
100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
Z大樣品高度：100 mm
(3.9 in.)
★OLS5100-EAF
100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
Z大樣品高度：210 mm
(8.3 in.)
★OLS5100-SMF
100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
Z大樣品高度：40 mm
(1.6 in.)
★OLS5100-LAF
300毫米電動(dòng)載物臺(tái)
Z大樣品高度：37 mm （1.5 in.）
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100主機(jī)技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào)
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OLS5100-SAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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OLS5100-EAF
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總倍率
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54x–17,280x
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視場(chǎng)
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16 μm–5,120 μm
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測(cè)量原理
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光學(xué)系統(tǒng)
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反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC
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光接收元件
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激光：光電倍增管（2通道）
彩色：CMOS彩色相機(jī)
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高度測(cè)量
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顯示分辨率
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0.5 nm
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動(dòng)態(tài)范圍
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16位
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重復(fù)性σn -1*1 *2 *5
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5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm
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準(zhǔn)確度*1 *3 *5
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0.15 + L / 100μm（L：測(cè)量長(zhǎng)度[μm]）
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拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5
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10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長(zhǎng)度[μm])
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測(cè)量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5
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1 nm（典型值）
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寬度測(cè)量
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顯示分辨率
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1 nm
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重復(fù)性3σn-1 *1 *2 *5
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5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm
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準(zhǔn)確度*1 *3 *5
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測(cè)量值+/- 1.5%
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拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5
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10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長(zhǎng)度[mm]）
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單次測(cè)量時(shí)Z大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量
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4096 × 4096像素
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Z大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量
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3600萬(wàn)像素
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XY載物臺(tái)配置
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長(zhǎng)度測(cè)量模塊
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?
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不適用
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不適用
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?
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工作范圍
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100 ×
100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)
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300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)
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Z大樣品高度
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)
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30 mm (1.2 in.)
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30 mm (1.2 in.)
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210 mm (8.3 in.)
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激光光源
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波長(zhǎng)
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405 nm
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Z大輸出
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0.95 mW
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激光等級(jí)
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2級(jí)（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
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彩色光源
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白光LED
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電氣功率
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240 W
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240 W
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278 W
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240 W
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質(zhì)量
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顯微鏡主體
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約 31 kg
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約 32 kg
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約 50 kg
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約 43 kg
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控制箱
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約 12 kg
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*1 在ISO554(1976)、JIS
Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規(guī)定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測(cè)量時(shí)倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測(cè)量時(shí)。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測(cè)量時(shí)的典型值。
*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的保證。
**
Window 10的OS許可已通過(guò)奧林巴斯提供的顯微鏡控制器認(rèn)證。
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100物鏡技術(shù)參數(shù)：
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系列
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型號(hào)
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數(shù)值孔徑（NA）
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工作距離（WD）（mm）
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UIS2?物鏡
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MPLFLN2.5x
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0.08
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10.7
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MPLFLN5x
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0.15
|
20
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專用LEXT物鏡（10X）
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MPLFLN10xLEXT
|
0.3
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10.4
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專用LEXT物鏡（高性能型）
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MPLAPON20xLEXT
|
0.6
|
1
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MPLAPON50xLEXT
|
0.95
|
0.35
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MPLAPON100xLEXT
|
0.95
|
0.35
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專用LEXT物鏡（長(zhǎng)工作距離型）
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LMPLFLN20xLEXT
|
0.45
|
6.5
|
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LMPLFLN50xLEXT
|
0.6
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5.2
|
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LMPLFLN100xLEXT
|
0.8
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3.4
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超長(zhǎng)工作距離物鏡
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SLMPLN20x
|
0.25
|
25
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SLMPLN50x
|
0.35
|
18
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SLMPLN100x
|
0.6
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7.6
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適用于LCD樣品的長(zhǎng)工作距離物鏡
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LCPLFLN20xLCD
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0.45
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8.3-7.4
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LCPLFLN50xLCD
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0.7
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3.0-2.2
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LCPLFLN100xLCD
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0.85
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1.2-0.9
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奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100應(yīng)用軟件：
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標(biāo)準(zhǔn)軟件
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OLS51-BSW
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數(shù)據(jù)采集app
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分析應(yīng)用程序（簡(jiǎn)單分析）
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電動(dòng)載物臺(tái)套件應(yīng)用*1
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OLS50-S-MSP
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GJI分析應(yīng)用*2
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OLS50-S-AA
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薄膜厚度測(cè)量應(yīng)用
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OLS50-S-FT
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自動(dòng)邊緣測(cè)量應(yīng)用
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OLS50-S-ED
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顆粒物分析應(yīng)用
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OLS50-S-PA
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智能實(shí)驗(yàn)管理助手應(yīng)用
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OLS51-S-ETA
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球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用
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OLS50-S-SA
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*1包括自動(dòng)拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
*2包括輪廓分析、差值分析、臺(tái)階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。
