半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡MX63/MX63L簡(jiǎn)介：
奧林巴斯MX顯微鏡的設(shè)計(jì)理念是為客戶提供更高的操作效率。MX顯微鏡為用戶確保了四個(gè)等級(jí)的：快速入門(mén)、簡(jiǎn)易操作、失敗分析和擴(kuò)展功能。
MX63/MX63L
讓您的大尺寸樣品檢測(cè)流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，適用于Z大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)，保持檢測(cè)員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結(jié)合使用時(shí)，可以簡(jiǎn)化從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的整個(gè)工作流程。
多功能
設(shè)計(jì)滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求，并以更多功能提高分析能力。
人性化
簡(jiǎn)化的顯微鏡設(shè)置使用戶可以更輕松地進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)置的調(diào)整和重現(xiàn)。
成像技術(shù)
成熟可靠的光學(xué)器件和成像技術(shù)可提供清晰的圖像和可靠的檢測(cè)。
模塊化
用戶可以使用適合其應(yīng)用的組件進(jìn)行系統(tǒng)定制。
應(yīng)用圖像庫(kù)
圖像管理功能可為您呈現(xiàn)您真正想要觀察的內(nèi)容。
MX63系列旨在使客戶能夠選擇各種光學(xué)組件，以滿足其特定的檢測(cè)和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。用戶還可以從各種PRECiV圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。
兩個(gè)系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格
MX63系統(tǒng)可處理尺寸達(dá)200
mm的晶圓，而MX63L系統(tǒng)可以處理尺寸達(dá)300 mm的晶圓，但占地面積卻與MX63系統(tǒng)一樣小。模塊化設(shè)計(jì)便于您根據(jù)自身的特定需求定制顯微鏡。
紅外兼容性
紅外觀察可以使用紅外物鏡進(jìn)行，該物鏡利用硅透射紅外光的特性，使操作員能夠?qū)Ψ庋b和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內(nèi)部進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)。5倍至100倍紅外物鏡可實(shí)現(xiàn)從可見(jiàn)光波長(zhǎng)到近紅外波長(zhǎng)的色差校正。特別是對(duì)于20倍或更高倍率的物鏡，可通過(guò)校正環(huán)對(duì)覆蓋在觀察對(duì)象上的硅層引起的像差進(jìn)行校正，從而獲得清晰的圖像。
半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡MX63/MX63L技術(shù)規(guī)格：
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MX63
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MX63L
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光學(xué)系統(tǒng)
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UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)）
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顯微鏡鏡架
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反射光照明
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白光LED（帶光強(qiáng)度管理器）12 V 100 W鹵素?zé)簦?/span>100W汞燈，光導(dǎo)
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/反射鏡分光鏡組件手動(dòng)切換。（反射鏡分光鏡組件為選配件。）
通過(guò)手動(dòng)操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件
內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（針對(duì)所有物鏡預(yù)設(shè)，暗場(chǎng)自動(dòng)完全打開(kāi)）
觀察模式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉對(duì)比度（DIC）*1、簡(jiǎn)易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察（4個(gè)定向暗場(chǎng)）*2
*1 選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置
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透射光照明
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透射光照明裝置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。
- MX-TILLA：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.5）和孔徑光闌
- MX-TILLB：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.6）、孔徑光闌和視場(chǎng)光闌
光源：LG-LSLED（LED光源）光導(dǎo)：LG-SF
觀察模式：明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏振光
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對(duì)焦
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行程：32 mm
每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100 μm
Z小分度：1 μm
配上限限位器和粗調(diào)手柄扭矩調(diào)節(jié)
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Z大載荷重量（包括載物臺(tái)和支架）
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8 kg
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15 kg
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觀察筒
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寬視場(chǎng)（FN 22 mm）
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正像三目鏡筒：U-ETR4
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-TTR-2
倒像三目鏡筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于紅外觀察）
倒置雙目鏡筒：U-BI30-2
倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30
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超寬視場(chǎng)（FN 26.5 mm）
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正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR（光程切換100% [目鏡]：0 [相機(jī)] 或0：100%）
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-SWETTR（光程切換100% [目鏡]：0 [相機(jī)] 或20%：80%）
倒像三目鏡筒：U-SWTR-3
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電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
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明場(chǎng)
帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6REMC
帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔：U-P5REMC
明場(chǎng)和暗場(chǎng)
帶DIC插槽的電動(dòng)六孔：U-D6BDREMC
帶DIC插槽的電動(dòng)五孔：U-D5BDREMC
帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔：U-P5BDREMC
帶真空裝置的電動(dòng)版：U-D5BDREMC-VA
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載物臺(tái)（X x Y）
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帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC8R
行程：210 x 210 mm
透射光照明區(qū)域：189 x 189 mm
帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC6R2
行程：158 x 158 mm
（僅適用于反射光）
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帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2
行程：356 x 305 mm
透射光照明區(qū)域：356 x 284 mm
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重量
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約35.6kg（顯微鏡鏡架26kg）
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約44kg（顯微鏡鏡架28.5kg）
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